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タンタルターゲット

説明
また、タンタルスパッタリングターゲットとして知られているタンタルターゲットは、高い膜厚均一性と一貫性と再現性のあるプロセスの性能を提供します。製造中のテクスチャバンディングの除去が向上早期寿命安定性と一貫性のスルーライフスパッタ性能を提供し、均一な微細構造を生成します。
タンタルターゲットのために、私たちは3Nから5N、微細で均一な結晶粒度、強力なテクスチャバンディングの除去、および初期の目標寿命の寸法安定性に至るまで、高純度をお客様に提供することに焦点を当てています。
私たちのタンタルターゲットの金属不純物やガス状不純物が世界中に知ら当局によって測定されています。
加えて、我々はまた、リサイクル再利用スクラップターゲットのプログラムを提供しています。

アプリケーション
優れた耐食性、高温強度と優れた生体適合性を特色に、タンタルターゲットは、このような拡散バリア材料、メモリデバイス、MOSFETデバイスにおけるゲート電極、プリントヘッド装置及びバリアメタル上に保護コーティングのための薄膜の用途の多くに使用され銅配線装置。

タンタルターゲットの化学組成
TaNb20Ta2.5WTa10W
化学PPM
説明主成分不純物の最大
TaのNbニッケルWモーチタンOC言語HN
TA1残り300403020404020150401520
TA2残り800100100502002005020010015100
TaNb3残り100100502002005020010015100
残り170000- 230000100100502002005020010015100
残り400503020300006020150501560
残り4005030201100006020150501560
パッケージと交通

我々は、合板ケースにタンタルターゲットをパックし、海や空気によってそれらを送ります。

2008年に設立され、株洲Tongyi耐火金属有限公司は、中国のタンタルターゲット(タンタルスパッタリングターゲット)の専門メーカーとサプライヤーです。この製品はあなたに興味のある場合は、お気軽にお問合せください。